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一种兰姆波谐振器
申请人信息
- 申请人:深圳新声半导体有限公司
- 申请人地址:518049 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801
- 发明人: 深圳新声半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种兰姆波谐振器 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311823541.X |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN117478098A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | H03H9/17 |
| 权利人 | 深圳新声半导体有限公司 |
| 发明人 | 梁骥; 邹洁; 唐供宾 |
| 地址 | 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801 |
摘要文本
深圳新声半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供了一种兰姆波谐振器，属于谐振器技术领域。本发明中兰姆波谐振器自上而下包括叠层设置的谐振器盖帽、谐振器主体与谐振器支撑体，所述谐振器支撑体与谐振器主体连接形成第一空腔，所述谐振器盖帽与谐振器主体连接形成第二空腔；所述谐振器主体自上而下包括叠层设置的第一钝化层、压电层与第二钝化层，所述压电层与第一钝化层之间叠层设置有上电极层和/或所述压电层与第二钝化层之间叠层设置有下电极层，所述上电极层和/或下电极层具有交趾结构。本发明提供的兰姆波谐振器便于在压电层厚度固定的基础上调整谐振频率，大大减少了设计时间和制造成本。
专利主权项内容
1.一种兰姆波谐振器，其特征在于，自上而下包括叠层设置的谐振器盖帽、谐振器主体与谐振器支撑体，所述谐振器支撑体与谐振器主体连接形成第一空腔(1701)，所述谐振器盖帽与谐振器主体连接形成第二空腔(2401)；所述谐振器主体自上而下包括叠层设置的第一钝化层(120)、压电层(140)与第二钝化层(160)，所述压电层(140)与第一钝化层(120)之间叠层设置有上电极层(130)和/或所述压电层(140)与第二钝化层(160)之间叠层设置有下电极层(150)，所述上电极层(130)和/或下电极层(150)具有交趾结构。