声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器

专利主权项内容

1.一种声表面波谐振器装置，具有主体区和周边区，且所述周边区包括在第一方向上位于所述主体区相对两侧的第一周边区和第二周边区，所述声表面波谐振器装置包括：压电基板；叉指换能器，设置于所述压电基板的一侧，且包括多个叉指电极、第一叉指电极引出部和第二叉指电极引出部，所述多个叉指电极包括沿所述第一方向延伸且沿与所述第一方向相交的第二方向交替排列的第一叉指电极和第二叉指电极；其中所述第一叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第一周边区以与所述第一叉指电极引出部连接，所述第二叉指电极位于所述主体区中，且延伸跨过所述第二周边区以与所述第二叉指电极引出部连接；以及导电结构，设置于所述叉指换能器的远离所述压电基板的一侧，且在垂直于所述压电基板的主表面的第三方向上至少与所述多个叉指电极的靠近所述周边区的末端部分交叠，其中所述导电结构至少包括主体结构和第一锯齿结构，所述主体结构沿所述第二方向连续延伸跨过所述多个叉指电极，所述第一锯齿结构在所述第一方向上位于所述主体结构的远离所述周边区的一侧，且所述主体结构的至少部分和所述第一锯齿结构在所述第三方向上与所述多个叉指电极的所述末端部分交叠。