声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器

专利主权项内容

1.一种声表面波谐振器装置，包括叉指电极主体区，且包括：压电基板；第一叉指电极结构和第二叉指电极结构，设置于所述压电基板的一侧，且彼此电性隔离，所述第一叉指电极结构包括彼此电连接的第一叉指电极、第一叉指电极连接部以及第一叉指电极引出部，所述第二叉指电极结构包括彼此电连接的第二叉指电极、第二叉指电极连接部以及第二叉指电极引出部；其中所述第一叉指电极和所述第二叉指电极沿第一方向延伸，且沿第二方向交替排列，所述第一方向和所述第二方向彼此相交；所述第一叉指电极和所述第二叉指电极中的每个叉指电极包括位于所述叉指电极主体区中的主体部分，且具有在所述第一方向上彼此相对的第一末端和第二末端；所述第一叉指电极连接部和所述第一叉指电极引出部分别连接所述第一叉指电极的第一末端和第二末端，所述第二叉指电极连接部和所述第二叉指电极引出部分别连接所述第二叉指电极的第一末端和第二末端；以及跨越结构，在垂直于所述压电基板的主表面的方向上位于所述第一叉指电极连接部和所述第二叉指电极之间以及所述第二叉指电极连接部和所述第一叉指电极之间；其中所述第一叉指电极连接部和所述第二叉指电极连接部在所述第一方向上分别位于所述叉指电极主体区的相对两侧，且沿所述第二方向连续延伸，所述第一叉指电极连接部与所述第一叉指电极接触，且通过所述跨越结构与所述第二叉指电极电性隔离；所述第二叉指电极连接部与所述第二叉指电极接触，且通过所述跨越结构与所述第一叉指电极电性隔离。