声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器
申请人信息
- 申请人:深圳新声半导体有限公司
- 申请人地址:518049 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801
- 发明人: 深圳新声半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311345403.5 |
| 申请日 | 2023/10/18 |
| 公告号 | CN117081541B |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | H03H9/25 |
| 权利人 | 深圳新声半导体有限公司 |
| 发明人 | 周陈程; 邹洁; 唐供宾 |
| 地址 | 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801 |
摘要文本
深圳新声半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，一种声表面波谐振器装置及其制造方法、滤波器，所述制造方法包括：在压电基板上形成包括多个叉指电极的叉指换能器，多个叉指电极沿第一方向延伸，且沿第二方向间隔排列，形成叉指换能器包括：在压电基板上形成多个初始叉指电极，且每个初始叉指电极具有第一宽度，每相邻两个初始叉指电极之间具有初始叉指间隙，且具有第一间距；在压电基板上形成多个附加叉指电极，分别与多个初始叉指电极相连，且每个初始叉指间隙的部分被多个附加叉指电极中的一者填充，每个叉指电极包括彼此相连的初始叉指电极和附加叉指电极，每个叉指电极具有第二宽度，每相邻两个叉指电极之间具有第二间距；第二宽度大于第一宽度，且第二间距小于第一间距。 专利查询网
专利主权项内容
1.一种声表面波谐振器装置的制造方法，包括：提供压电基板；以及在所述压电基板上形成叉指换能器，所述叉指换能器包括多个叉指电极，且所述多个叉指电极沿第一方向延伸，且沿第二方向间隔排列，其中在所述压电基板上形成所述叉指换能器包括：在所述压电基板上形成多个初始叉指电极，且在所述第二方向上，每个初始叉指电极具有第一宽度，每相邻两个初始叉指电极之间具有初始叉指间隙，且具有第一间距；在所述压电基板上形成多个附加叉指电极，所述多个附加叉指电极分别与所述多个初始叉指电极相连，且每个初始叉指间隙的部分被所述多个附加叉指电极中的一者填充，每个叉指电极包括彼此相连的初始叉指电极和附加叉指电极，其中所述多个附加叉指电极还被形成为分别覆盖所述多个初始叉指电极的远离所述压电基板的表面的一部分，且所述多个附加叉指电极分别包括多个凸出部分，所述多个凸出部分分别在垂直于所述压电基板的第三方向上凸出于所述多个初始叉指电极的远离所述压电基板的所述表面，其中在所述第二方向上，每个叉指电极具有第二宽度，每相邻两个叉指电极之间具有第二间距；每个叉指电极的所述第二宽度大于相应初始叉指电极的第一宽度，且相邻两个叉指电极之间的第二间距小于相应的相邻两个初始叉指电极之间的第一间距。 该数据由<马克数据网>整理