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一种具有抑制杂波单元的TC-SAW谐振结构
申请人信息
- 申请人:深圳新声半导体有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801
- 发明人: 深圳新声半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种具有抑制杂波单元的TC-SAW谐振结构 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311854080.2 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117526896A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | H03H9/25 |
| 权利人 | 深圳新声半导体有限公司 |
| 发明人 | 黄磊; 唐供宾; 邹洁 |
| 地址 | 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园3栋801 |
摘要文本
深圳新声半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本发明提供一种具有抑制杂波单元的TC‑SAW谐振结构,叉指换能器包括第一叉指换能器和第二叉指换能器;第一叉指换能器包括第一汇流排和连接至第一汇流排的各第一电极指,第二叉指换能器包括第二汇流排和连接至第二汇流排的各第二电极指;温度补偿层覆盖在各第一电极指和各第二电极指的表面;抑制杂波单元为设置在温度补偿层中的金属结构,抑制杂波单元在第一方向上形成连续周期的余弦波形。本发明提供一种结构简单,成本更低,加工更容易的声表面波器件,通过在叉指换能器的电极指两端上方设置杂波抑制单元,每一端的杂波抑制单元连接形成连续周期的余弦波形结构,抑制杂波,优化声表面波器件性能。
专利主权项内容
1.一种具有抑制杂波单元的 TC-SAW 谐振结构,其特征在于,包括:衬底;叉指换能器,所述叉指换能器设置在衬底上,所述叉指换能器包括第一叉指换能器和第二叉指换能器;所述第一叉指换能器包括第一汇流排和连接至第一汇流排的各第一电极指,所述第二叉指换能器包括第二汇流排和连接至第二汇流排的各第二电极指;温度补偿层,所述温度补偿层覆盖在各第一电极指和各第二电极指的表面;抑制杂波单元,所述抑制杂波单元为设置在温度补偿层中的金属结构,所述抑制杂波单元在第一方向上形成连续周期的余弦波形,第一方向平行于所述衬底所在平面。