多自由度的纳米级精密定位平台

专利主权项内容

1.一种多自由度的纳米级精密定位平台，其特征在于，所述多自由度的纳米级精密定位平台包括：支撑基座(10)；第一驱动组(21)，安装于所述支撑基座(10)的一侧；所述第一驱动组(21)包括沿第一方向相对且间隔布置的第一驱动机构(211)，每个所述第一驱动机构(211)具有第一输出端，每个所述第一输出端均与所述支撑基座(10)连接；第二驱动组(22)，安装于所述支撑基座(10)的一侧；所述第二驱动组(22)包括沿第二方向相对且间隔布置的第二驱动机构(221)，每个所述第二驱动机构(221)具有第二输出端，每个所述第二输出端均与所述支撑基座(10)连接；每个所述第一输出端和每个所述第二输出端均能够独立的沿Z轴移动，以驱动所述支撑基座(10)调整位姿状态；其中，所述位姿状态包括沿Z轴的升降运动、绕X轴的转动和Y轴的转动；所述第一方向、所述第二方向及所述Z轴，两两成角度布置。