一种晶圆旋转喷淋清洗装置

专利主权项内容

1.一种晶圆旋转喷淋清洗装置，包括清洗槽(1)，其特征在于：所述清洗槽(1)内设置有两组夹持组件，夹持组件均包括若干组夹持单元(2)和驱动单元(3)，两组所述夹持单元(2)交替夹持晶圆片；所述驱动单元(3)用于驱动所述夹持单元(2)进行交替动作；所述夹持单元(2)包括第一夹持片(21)和第二夹持片(22)，夹持组件还包括转换单元(4)，当所述驱动单元(3)推动所述第一夹持片(21)移动时，所述转换单元(4)使第二夹持片(22)反向移动；所述清洗槽(1)的上方还设置有清洗组件，清洗组件能够在所述清洗槽(1)上方升降，清洗组件包括若干组清洗单元(5)，所述清洗单元(5)包括两个喷淋臂(51)，当清洗组件下降后，两个所述喷淋臂(51)位于晶圆片的两侧，且两个所述喷淋臂(51)的一个位于两组夹持组件中的第一夹持片(21)之间，另一个所述喷淋臂(51)位于两组夹持组件中的第二夹持片(22)之间，两个所述喷淋臂(51)能够转动并向晶圆片喷淋清洗液；所述夹持单元(2)还包括第一固定块(23)和第二固定块(24)，所述转换单元(4)包括第一固定杆(41)、第一齿条(42)、第二固定杆(43)、第二齿条(44)和转换齿轮(45)；所述第一固定块(23)固定安装在所述第一夹持片(21)上，所述第二固定块(24)固定安装在所述第二夹持片(22)上，所述清洗槽(1)上对应所述第一固定块(23)和所述第二固定块(24)位置开设有滑动槽，所述第一固定块(23)和所述第二固定块(24)均滑动配合在对应的滑动槽内，所述第一固定杆(41)与全部所述夹持单元(2)中的所述第一固定块(23)固定安装，所述第二固定杆(43)与全部所述夹持单元(2)中的第二固定块(24)固定安装，所述第一齿条(42)固定安装在所述第一固定杆(41)的端部，所述第二齿条(44)固定安装在所述第二固定杆(43)靠近所述第一齿条(42)的端部，所述转换齿轮(45)设置在所述第一齿条(42)和所述第二齿条(44)之间并与所述第一齿条(42)和所述第二齿条(44)啮合；所述清洗单元(5)还包括支撑架(52)和连接管(53)，所述喷淋臂(51)内开设有出水通道，出水通道的一侧开设有喷水孔，所述支撑架(52)内开设有连接通道，所述连接管(53)的一端固定安装在所述喷淋臂(51)上并与出水通道连通，所述连接管(53)的另一端转动连接在所述支撑架(52)上并与连接通道连通；清洗组件还包括升降板(6)、转动单元(7)和若干组传动单元(8)，所述支撑架(52)固定安装在所述升降板(6)的底部，所述转动单元(7)包括驱动电机(71)和转轴(72)，所述传动单元(8)包括主动皮带轮、被动皮带轮和连接皮带，主动皮带轮固定安装在所述转轴(72)上，被动皮带轮固定安装在所述连接管(53)上，连接皮带连接在主动皮带轮和被动皮带轮上；所述驱动单元(3)包括电动推杆(31)和连接板，所述第一固定杆(41)的一端固定安装在连接板上，所述电动推杆(31)的输出端固定安装在连接板上；所述清洗槽(1)的下方还设置有壳体(9)，所述清洗槽(1)固定安装在所述壳体(9)内，所述电动推杆(31)固定安装在所述壳体(9)上，所述壳体(9)的两侧内部固定安装有若干块限位块(10)，当所述升降板(6)下降后，所述喷淋臂(51)位于相邻的两个限位块(10)之间；所述壳体(9)内固定安装有限位导轨(11)，所述第一固定杆(41)和第二固定杆(43)上均固定安装有限位滑块(12)，所述限位滑块(12)滑动配合在所述限位导轨(11)内，所述壳体(9)内还固定安装有若干个支撑枕(13)，所述支撑枕(13)固定安装在限位导轨(11)和清洗槽(1)的底部；清洗组件还包括两根清洗管(14)和两个水泵(15)，两根所述清洗管(14)均与连接通道连通，两根所述清洗管(14)分别安装在对应的所述水泵(15)输出端；所述升降板(6)的两端均固定安装有升降液压缸(16)，所述壳体(9)的外壁固定安装有若干个稳固筒(17)，所述升降板(6)上固定安装有若干个稳固杆(18)，若干个所述稳固杆(18)分别滑动配合在对应的所述稳固筒(17)内。