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籽晶托及其制备方法、晶体生长装置、晶体生长方法
申请人信息
- 申请人:深圳平湖实验室
- 申请人地址:518116 广东省深圳市龙岗区平湖街道中科亿方智汇产业园12栋
- 发明人: 深圳平湖实验室
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 籽晶托及其制备方法、晶体生长装置、晶体生长方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311547649.0 |
| 申请日 | 2023/11/15 |
| 公告号 | CN117587501A |
| 公开日 | 2024/2/23 |
| IPC主分类号 | C30B23/00 |
| 权利人 | 深圳平湖实验室 |
| 发明人 | 邹兴; 万玉喜; 胡浩林; 曾威; 王晓萍 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区平湖街道中科亿方智汇产业园12栋 |
摘要文本
深圳平湖实验室取得“一种透气窗帘布”专利技术，本公开提供了一种籽晶托及其制备方法、晶体生长装置、晶体生长方法，涉及半导体芯片技术领域，旨在降低碳化硅单晶材料中的位错密度。所述籽晶托包括籽晶托主体和多个填充部。籽晶托主体的第一表面开设有多个凹槽，多个凹槽间隔设置，第一表面用于设置籽晶。多个填充部对应设置于多个凹槽内。其中，填充部的材料包括第一材料，籽晶托主体的材料包括第二材料，第一材料的导热系数与第二材料的导热系数不相同。上述籽晶托应用于晶体生长装置中，以实现晶体的生长。
专利主权项内容
1.一种籽晶托，其特征在于，包括：籽晶托主体，所述籽晶托主体的第一表面开设有多个凹槽，所述多个凹槽间隔设置，所述第一表面用于设置籽晶；多个填充部，对应设置于所述多个凹槽内；其中，所述填充部的材料包括第一材料，所述籽晶托主体的材料包括第二材料，所述第一材料的导热系数与所述第二材料的导热系数不相同。。来自马克数据网