一种金刚石基晶体管器件、其制作方法及电子器件
申请人信息
- 申请人:深圳平湖实验室
- 申请人地址:518116 广东省深圳市龙岗区平湖街道中科亿方智汇产业园12栋
- 发明人: 深圳平湖实验室
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种金刚石基晶体管器件、其制作方法及电子器件 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311864997.0 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN117766571A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | H01L29/417 |
| 权利人 | 深圳平湖实验室 |
| 发明人 | 支海朝; 万玉喜; 曾威; 胡浩林 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区平湖街道中科亿方智汇产业园12栋 |
摘要文本
深圳平湖实验室取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开一种金刚石基晶体管器件、其制作方法及电子器件，表面氢截止层中设置有第一凹槽、第二凹槽和第一连接壁，第一凹槽和第二凹槽均具有侧壁和连接所有侧壁的第二连接臂，所有侧壁相对于金刚石衬底表面的倾斜角均大于0度，第一连接壁和第二连接壁均与金刚石衬底表面平行；源极金属接触和漏极金属接触分别位于第一凹槽和第二凹槽的第二连接壁的表面，且穿过表面钝化层与表面氢截止层电性连接，栅极金属位于第一连接壁表面，因此，所有侧壁均为光滑的壁面，且所有侧壁均为金刚石{111}晶面族，与金刚石衬底之间的倾斜角均大于0度，因此可以增大器件导电通道的迁移率，从而提高金刚石基晶体管器件的性能。 （来自 专利查询网）
专利主权项内容
1.一种金刚石基晶体管器件，其特征在于，包括：金属层(6)、金刚石衬底(1)、以及依次层叠设置于所述金刚石衬底(1)上的金刚石外延层(2)、表面氢截止层(4)、表面钝化层(5)；所述金刚石外延层(2)表面设置有第一凹槽(7)、第二凹槽(8)和连接所述第一凹槽(7)与所述第二凹槽(8)的第一连接壁(9)，所述第一凹槽(7)和所述第二凹槽(8)均具有侧壁和连接所有侧壁的第二连接壁(12)，所述所有侧壁相对于所述金刚石衬底(1)表面的倾斜角均大于0度，所述第一连接壁(9)和第二连接壁(12)均与所述金刚石衬底(1)表面平行；所述金属层(6)包括源极金属接触(61)、漏极金属接触(62)和栅极金属(63)，所述源极金属接触(61)位于所述第一凹槽(7)的第二连接壁(12)的表面，且穿过所述表面钝化层(5)与所述表面氢截止层(4)电性连接，所述漏极金属接触(62)位于所述第二凹槽(8)的第二连接壁(12)的表面，且穿过所述表面钝化层(5)与所述表面氢截止层(4)电性连接，所述栅极金属(63)位于所述第一连接壁(9)的表面。