一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀及其组装方法
申请人信息
- 申请人:科讯工业制造(深圳)有限公司
- 申请人地址:518100 广东省深圳市龙岗区宝龙街道同德社区吓坑一路168号恒利工业园厂房A2栋101、201
- 发明人: 科讯工业制造(深圳)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀及其组装方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410032089.3 |
| 申请日 | 2023/9/28 |
| 公告号 | CN117605842A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | F16K1/02 |
| 权利人 | 科讯工业制造(深圳)有限公司 |
| 发明人 | 张生洲; 彭峰; 张青松; 文超阳 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区宝龙街道同德社区吓坑一路168号恒利工业园厂房A2栋101、201 |
摘要文本
科讯工业制造(深圳)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，涉及一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀及其组装方法，该调节阀包括具有轴心阀口的阀座、结合于阀座上且内安装有调节杆组的阀盖、用于封闭轴心阀口的隔膜阀片以及设置于阀盖上的调节轮。隔膜阀片在阀头下方形成对准于轴心阀口的轴心锥体。调节轮具有旋转模式与止动模式，在旋转模式下随着调节轮的旋转，每当调节杆组的调节进杆被调节下降或上升第一距离，调节杆组的调节退杆同步反向地上升或下降第二距离，所述第二距离与第一距离的比值介于0.8～0.95，结合轴心锥体的锥斜度，该手动调节阀具有在调节时调节轮的旋转圈数与调节阀流量接近线性关系以及在调节后止动时精密流量稳定供给的效果。 来自专利查询网
专利主权项内容
1.一种用于半导体湿法工艺的手动调节阀，其特征在于，包括：阀座(10)，所述阀座(10)的内部设有连通第一流道(11)的环口(13)与连通第二流道(12)的轴心阀口(14)，所述轴心阀口(14)位于所述环口(13)中；阀盖(20)，结合于所述阀座(10)上，所述阀盖(20)内连接有调节杆组(50)，所述阀盖(20)能提供所述调节杆组(50)的活动空间，所述调节杆组(50)包括相互关联的调节进杆(51)与调节退杆(52)；隔膜阀片(30)，设于所述调节杆组(50)的调节退杆(52)一端，所述隔膜阀片(30)具有位于中心的阀头(31)，用于封闭所述轴心阀口(14)，所述阀头(31)下方形成对准于所述轴心阀口(14)的轴心锥体(32)；支撑压块(60)，防旋转地限位于所述阀盖(20)中，用于抵触所述隔膜阀片(30)的周边环部(33)并阻挡所述调节退杆(52)的旋转；调节轮(40)，设置于所述阀盖(20)上并连接所述调节杆组(50)的调节进杆(51)，用于调节所述调节进杆(51)在所述阀盖(20)中的降升；所述调节轮(40)为手轮，所述调节轮(40)具有旋转模式与止动模式，在旋转模式下随着所述调节轮(40)的旋转，每当所述调节进杆(51)被调节下降或上升第一距离，所述调节退杆(52)同步反向地上升或下降第二距离，所述第二距离与第一距离的比值介于0.8～0.95，结合所述轴心锥体(32)的锥斜度，所述调节轮(40)的旋转圈数与调节阀流量接近的关系接近于线性；在初始阀开启阶段，所述轴心锥体(32)的向下延长长度足以使所述隔膜阀片(30)的轴心锥体(32)不完全脱离所述阀座(10)的轴心阀口(14)。