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探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质
申请人信息
- 申请人:矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
- 申请人地址:518172 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区
- 发明人: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311821913.5 |
| 申请日 | 2023/12/27 |
| 公告号 | CN117471392A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | G01R35/00 |
| 权利人 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
| 发明人 | 吴贵阳; 刘子敏; 杨应俊 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 |
摘要文本
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请实施例提供了一种探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质，属于半导体测试技术领域。方法包括：获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像并框选出目标电子元件的扎针图；将扎针图与基准模板对齐；其中，基准模板由对未被被测探针扎针的第二图像中的目标电子元件框选得到；对扎针图和基准模板建立灰度矩阵，根据灰度矩阵确定被测探针的针尖形状；从第一图像中确定被测探针所在方向的多条针尖垂线，并对多条针尖垂线进行逐行检测直至检测到目标灰度点，将目标灰度点所在的位置作为针尖位置；基于针尖形状和针尖位置，得到探针针尖检测结果。本申请能够提高探针针尖检测结果的准确性和识别的效率。
专利主权项内容
1.一种探针针尖的检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像，并从所述第一图像中框选出目标电子元件的扎针图；将所述扎针图与基准模板对齐；其中，所述基准模板由对第二图像中的所述目标电子元件框选得到；所述第二图像通过所述目标电子元件未被所述被测探针扎针时拍摄得到；对所述扎针图和所述基准模板建立灰度矩阵，并根据所述灰度矩阵确定所述被测探针的针尖形状；从所述第一图像中确定所述被测探针所在方向的多条针尖垂线，并根据多条所述针尖垂线进行逐行检测，直至检测到目标灰度点，将所述目标灰度点所在的位置作为针尖位置；基于所述针尖形状和所述针尖位置，得到探针针尖检测结果。