电镀槽液流分布的检测系统及其方法

专利主权项内容

1.电镀槽液流分布的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：收集电镀槽的槽体数据；并基于槽体数据，生成传感器安装位置集合；在测试环境中，在测试电镀槽内的各个传感器安装位置放置各类物理特征传感器；在测试环境中，进行N次电镀实验，并在每次电镀实验过程中，通过各个物理特征传感器，收集一组液流分布测试数据；其中，N为选择的电镀实验的次数；基于液流分布测试数据，获得异常检测训练数据，基于异常检测训练数据，训练判断液流分布是否异常的异常检测模型；基于液流分布测试数据和聚类算法，获得异常定位训练数据，基于异常定位训练数据，训练对电镀槽内的液流分布异常进行定位的异常定位模型；在生产环境中，在生产电镀槽内的各个传感器安装位置放置各个物理特征传感器，并在每次进行电镀时，通过物理特征传感器收集液流分布实时数据；基于液流分布实时数据和异常检测模型，实时判断电镀槽内的液流分布是否存在异常，若存在异常，基于液流分布实时数据和异常定位模型，获得生产电镀槽内预测的异常位置。