一种晶圆检测瑕疵检测装置及方法

专利主权项内容

1.一种晶圆检测瑕疵检测装置，包括云服务器，云服务器通信连接有数据采集单元、云数据库，所述数据采集单元用于采集待检晶圆的表面缺陷参数、薄膜缺陷参数、材料特性参数，并将各类型信息发送至云数据库中进行存储，所述云数据库还用于存储几何形状-检测区域划分数据表，存储尺寸大小-检测区域划分数据表，存储表面缺陷瑕疵状态对照表，存储材料-光源波长判定表，其特征在于，云服务器还通信连接有表面区域划分单元、表面区域瑕疵检测单元、层间区域瑕疵检测单元和显示终端；所述表面区域划分单元用于对待检晶圆的基础数据参数进行监测，由此对待检晶圆的表面区域划分进行定量分析，由此完成待检晶圆规格的设定及区域量的划分；进行定量分析的具体过程如下：Sa1：通过扫描电子显微镜对待检晶圆的形状进行测量，由此得到待检晶圆的几何形状，并将待检晶圆的几何形状与存储在云数据库中的几何形状-检测区域划分数据表进行对照匹配分析，由此得到待检晶圆的第一划分检测值，且得到的每个几何形状均对应一个第一划分检测值；Sa2：通过扫描电子显微镜对待检晶圆的面积进行测量，由此得到待检晶圆的尺寸值，并将待检晶圆的几何形状与存储在云数据库中的尺寸大小-检测区域划分数据表进行对照匹配分析，由此得到待检晶圆的第二划分检测值，且得到的每个尺寸值均对应一个第二划分检测值；Sa3：根据步骤Sa1和Sa2，由此输出待检晶圆的基础数据参数中的第一划分检测值和第二划分检测值，并将两项数据进行加权计算，由此输出待检晶圆的区域划分系数；Sa4：设置待检晶圆的区域划分系数的划分对比阈值，若待检晶圆的区域划分系数大于预设的划分对比阈值时，则将待检晶圆等量划分为规格为m1的若干个监测区域，若待检晶圆的区域划分系数小于等于预设的划分对比阈值时，则将待检晶圆等量划分为规格为m2的若干个监测区域，其中，m1＞m2；所述表面区域瑕疵检测单元根据待检晶圆已设定的相应的规格，由此对待检晶圆的表面缺陷参数及薄膜缺陷参数进行监测，并对待检晶圆的表面缺陷状态进行分析，据此输出晶圆的表面缺陷瑕疵等级，并通过显示终端对晶圆的表面缺陷瑕疵状态进行显示说明。