一种晶圆夹持搬运装置

专利主权项内容

1.一种晶圆夹持搬运装置，其特征在于，包括：基板(20)；多组夹持组件(30)，环绕所述基板(20)的第一轴线(201)间隔布置；每组所述夹持组件(30)包括相连接的转接件(31)以及夹持件(32)，所述转接件(31)与所述基板(20)滑动连接；所述夹持件(32)具有呈角度连接的支撑面(3211)以及限位面(3212)，所述支撑面(3211)用于支撑晶圆(100)的底面，多个所述夹持件(32)的所述限位面(3212)之间限定出用于容纳晶圆(100)的夹持空间；旋转驱动组件，包括安装于所述基板(20)的旋转驱动机构(41)，以及与所述旋转驱动机构(41)连接的转盘(42)；多根连杆(50)，环绕所述第一轴线(201)间隔布置；所述连杆(50)的一端与所述转盘(42)铰接，另一端与所述转接件(31)铰接；其中，所述旋转驱动组件用于驱动多个所述连杆(50)摆转，以驱动多个所述夹持组件(30)向接近或远离所述第一轴线(201)的方向运动。