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一种自动上下料的圆晶检测设备及其使用方法
申请人信息
- 申请人:珠海诚锋电子科技有限公司
- 申请人地址:519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路一号2栋402E单元
- 发明人: 珠海诚锋电子科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种自动上下料的圆晶检测设备及其使用方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311498211.8 |
| 申请日 | 2023/11/10 |
| 公告号 | CN117533788A |
| 公开日 | 2024/2/9 |
| IPC主分类号 | B65G49/06 |
| 权利人 | 珠海诚锋电子科技有限公司 |
| 发明人 | 张腾; 郑明国 |
| 地址 | 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路一号2栋402E单元 |
摘要文本
珠海诚锋电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种自动上下料的圆晶检测设备及其使用方法，属于晶圆检测设备技术领域，用于解决需要对晶圆检测往复夹持取送，导致晶圆表面存在磨损，甚至存在夹持失误，产生晶圆磕碰损坏的技术问题；本发明包括检测台，检测台顶部中心固定安装有下检测头，检测台一端顶部滑动安装有检测架，且检测架上方设置有朝向下检测头的上检测头；本发明故而既能对晶圆上下料期间的外部环套式保护与锁紧限定，构成对晶圆上下料的成套流程式多重保护，避免晶圆持续与其他部件接触，又便于将上料检测的晶圆及保护环进行多点对接式限位锁紧，避免传统夹具对晶圆的过度夹持，以及频繁夹持锁紧，导致的晶圆边缘磨损。
专利主权项内容
1.一种自动上下料的圆晶检测设备，包括检测台(1)，其特征在于，所述检测台(1)顶部中心固定安装有下检测头(103)，所述检测台(1)一端顶部滑动安装有检测架(2)，且检测架(2)上方设置有朝向下检测头(103)的上检测头(202)，所述检测台(1)顶部架设有靠近检测架(2)的托举架(5)，所述托举架(5)顶部中心贯穿开设有环口(501)，所述环口(501)内壁上设置有多组限位凸块(502)，所述检测台(1)另一端设置有延伸架(3)；所述延伸架(3)顶部设置有多组取料臂(303)，所述取料臂(303)端面设置有朝向下检测头(103)的限位杆(306)，多组所述取料臂(303)下方设置有靠近限位杆(306)的保护环(4)，所述保护环(4)内壁上转动连接有偏转块(406)。