一种防回弹吸附装置及防回弹方法
申请人信息
- 申请人:迈为技术(珠海)有限公司
- 申请人地址:519000 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)
- 发明人: 迈为技术(珠海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种防回弹吸附装置及防回弹方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311316022.4 |
| 申请日 | 2023/10/12 |
| 公告号 | CN117059555B |
| 公开日 | 2024/2/13 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 迈为技术(珠海)有限公司 |
| 发明人 | 王正根; 陈万群; 车二航; 刘泽立; 杨耀斌; 王松松; 陈旭 |
| 地址 | 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区) |
摘要文本
迈为技术(珠海)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开一种防回弹吸附装置及防回弹方法，其中，防回弹吸附装置包括具有吸附面的吸附座、安装于所述吸附面的吸附机构、防回弹机构以及与所述防回弹机构电性连接的控制器；所述防回弹机构有多个并沿着所述吸附机构的周向间隔布设；各所述防回弹机构均包括用于吸附工件的第一吸附器；所述第一吸附器相对于所述吸附座活动式安装以带动工件抵接于所述吸附面，所述控制器配置为在工件的加工过程中，控制所述第一吸附器始终吸附所述工件以防止工件的回弹。本发明可以防止晶圆在加工生产过程中出现回弹，提高晶圆加工生产的效率和质量。。搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种防回弹吸附装置，其特征在于，包括具有吸附面(121)的吸附座(12)、安装于所述吸附面(121)的吸附机构(13)、防回弹机构(14), 以及与所述防回弹机构(14)电性连接的控制器；所述防回弹机构(14)有多个并沿着所述吸附机构(13)的周向间隔布设；各所述防回弹机构(14)均包括用于吸附工件的第一吸附器(141)；所述第一吸附器(141)相对于所述吸附座(12)活动式安装以带动工件抵接于所述吸附面(121)，所述控制器配置为在工件的加工过程中，控制所述第一吸附器(141)始终吸附所述工件以防止工件的回弹；所述吸附面(121)上开设有容纳槽(122)，所述容纳槽(122)有多个，多个所述容纳槽(122)与多个所述防回弹机构(14)的所述第一吸附器(141)一一对应；所述第一吸附器(141)在伸出位置和拉紧位置之间切换，所述第一吸附器(141)在所述伸出位置时，所述第一吸附器(141)位于容纳槽(122)外，所述第一吸附器(141)在所述拉紧位置时，所述第一吸附器(141)位于所述容纳槽(122)内；各所述防回弹机构(14)还包括支撑座(144)；所述支撑座(144)相对于所述吸附座(12)活动式安装；所述第一吸附器(141)在所述伸出位置时，所述第一吸附器(141)吸附工件并使得工件的边缘抵接在所述支撑座(144)上；所述第一吸附器(141)在所述拉紧位置时，所述第一吸附器(141)带动工件抵接于所述吸附面(121)且所述支撑座(144)与工件分离；第一吸附器(141)和支撑座(144)沿着背离吸附座(12)的中央区域的方向依次布设。