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对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法
申请人信息
- 申请人:迈为技术(珠海)有限公司
- 申请人地址:519005 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区)
- 发明人: 迈为技术(珠海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311311065.3 |
| 申请日 | 2023/10/11 |
| 公告号 | CN117080142B |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | H01L21/68 |
| 权利人 | 迈为技术(珠海)有限公司 |
| 发明人 | 沈鹭翔; 顾昕程; 张志强 |
| 地址 | 广东省珠海市高新区唐家湾镇金唐路1号港湾1号科创园24栋C区1层377室(集中办公区) |
摘要文本
迈为技术(珠海)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及集成电路领域，具体为一种对准标记中心点的定位方法和晶圆键合方法。一种对准标记中心点的定位方法，方法包括：获得对准标记的图像的目标轮廓，目标轮廓包括多条第一线段，对准标记为中心对称图形，基于多条第一线段，确定对准标记的虚拟中心；在多条第一线段中，选取至少两个第一目标线段，并将第一目标线段绕虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段；在第一线段中，选取与第二线段平行且最邻近的第二目标线段；基于第一目标线段与第二目标线段，确定线段中分线；根据至少两个非平行的线段中分线的交点，确定对准标记的中心点。本申请通过计算线段数据，获得对准标记的中心点的方式，计算速度更快，计算量更小。
专利主权项内容
1.一种对准标记中心点的定位方法，其特征在于，所述方法包括：获得对准标记的图像的目标轮廓，所述目标轮廓包括多条第一线段，所述对准标记为中心对称图形，所述对准标记位于晶圆上；基于所述多条第一线段，确定所述对准标记的虚拟中心；在所述多条第一线段中，选取至少两个第一目标线段，并将第一目标线段绕所述虚拟中心旋转预设角度，获得第二线段；在所述第一线段中，选取与所述第二线段平行且最邻近的第二目标线段；基于所述第一目标线段与第二目标线段，确定线段中分线；根据至少两个非平行的线段中分线的交点，确定对准标记的中心点的坐标；所述基于所述第一线段，确定所述对准标记的虚拟中心，包括：确定所述多条第一线段的最小外接圆；将所述最小外接圆的圆心确定为所述目标轮廓的虚拟中心。