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一种基于有机磷配体的纳米晶体无胶光刻方法
申请人信息
- 申请人:南京大学
- 申请人地址:210023 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
- 发明人: 南京大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于有机磷配体的纳米晶体无胶光刻方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311132211.6 |
| 申请日 | 2023/9/5 |
| 公告号 | CN117420729A |
| 公开日 | 2024/1/19 |
| IPC主分类号 | G03F7/004 |
| 权利人 | 南京大学 |
| 发明人 | 王元元; 管杰; 马建行; 肖鹏伟 |
| 地址 | 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 |
摘要文本
本发明属于纳米材料图案化方法技术领域，特别涉及一种基于有机磷配体的纳米晶体无胶光刻方法，本发明通过引入含磷基团的有机分子作为光敏配体，将纳米晶体转变为光敏涂料，实现直接图案化；本发明解决了在完成图案化的过程中有效降低纳米晶体性能损失的问题，且具有以下几点优势：1)高度的区域/立体专一性；2)光敏区间可调，适用于DUV，i‑line和h‑line光源光刻；3)具有高的反应灵敏度，需要极低的曝光剂量；4)对环境不敏感，可在空气氛中操作，反应条件温和，易于操作；本发明的工艺有望在电致及光致发光量子点显示器领域纳米晶体的商业化中得到应用。
专利主权项内容
1.一种基于有机磷配体的纳米晶体在光学图案化中的应用，其特征在于，所述基于有机磷配体的纳米晶体包括有机磷配体和纳米晶体；所述有机磷配体为：其中R、R和R可以为烷基链或含有烃基，酯基、苯环和杂环等任意官能团的基团。123