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一种多层波导边缘耦合器

申请号: CN202311654527.1
申请人: 希烽光电科技(南京)有限公司; NANO科技(北京)有限公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种多层波导边缘耦合器
专利类型 发明申请
申请号 CN202311654527.1
申请日 2023/12/5
公告号 CN117348153A
公开日 2024/1/5
IPC主分类号 G02B6/12
权利人 希烽光电科技(南京)有限公司; NANO科技(北京)有限公司
发明人 张晓波; 方舟; 陈泽; 史弘康; 李磊
地址 江苏省南京市江北新区星火路17号创智大厦A座7层; 北京市海淀区永丰路9号院2号楼4层101

摘要文本

本发明提供一种多层波导边缘耦合器,包括波导包层、衬底层和模式转换器,波导包层和衬底层上下设置,模式转换器设置在波导包层中;波导包层上开设有两排通孔,两排通孔位于模式转换器两侧;衬底层内设有空腔,空腔位于通孔下方且与通孔连通;所述模式转换器包括N个依次耦合的波导,第一个波导用于与单模光纤耦合,第N个波导用于与芯片内单模波导耦合,第N个波导至第一个波导的厚度依次递减;所述N为大于1的整数。本发明提供的一种多层波导边缘耦合器,实现与光纤低损耗耦合,同时降低制作精度要求。

专利主权项内容

1.一种多层波导边缘耦合器,其特征在于,包括波导包层(1)、衬底层(5)和模式转换器(3),波导包层(1)和衬底层(5)上下设置,模式转换器(3)设置在波导包层(1)中;所述波导包层(1)上开设有两排通孔(2),两排通孔(2)位于模式转换器(3)两侧;衬底层(5)内设有空腔,空腔位于通孔下方且与通孔连通;所述模式转换器(3)包括N个依次耦合的波导,第一个波导用于与单模光纤耦合,第N个波导用于与芯片内单模波导(4)耦合,第N个波导至第一个波导的厚度依次递减;所述N为大于1的整数。。数据由马 克 数 据整理