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一种PtNPs@n-ZnO : Ga/p-SiC异质结基自驱动紫外光电探测器及其制备方法
申请人信息
- 申请人:南京航空航天大学
- 申请人地址:210016 江苏省南京市秦淮区御道街29号南京航空航天大学
- 发明人: 南京航空航天大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种PtNPs@n-ZnO : Ga/p-SiC异质结基自驱动紫外光电探测器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311338914.4 |
| 申请日 | 2023/10/17 |
| 公告号 | CN117393635A |
| 公开日 | 2024/1/12 |
| IPC主分类号 | H01L31/109 |
| 权利人 | 南京航空航天大学 |
| 发明人 | 姜明明; 余梦鑫; 唐楷; 阚彩侠 |
| 地址 | 江苏省南京市秦淮区御道街29号 |
摘要文本
本发明公开了一种PtNPs@n‑ZnO : Ga/p‑SiC异质结基自驱动紫外光电探测器及其制备方法,该发明所述PtNPs@n‑ZnO : Ga/p‑SiC异质结基自驱动紫外光电探测器包括p‑SiC衬底、PET、PtNPs@ZnO : Ga微米线、金属Ag薄膜电极、金属Ti/Au合金电极、石墨烯电极;所述制备方法通过单根n‑ZnO : Ga微米线和p‑SiC衬底构筑有效的p‑n型结构,并采用石墨烯电极作为顶部透明电极,提高入射透过率,同时石墨烯电极和n‑ZnO : Ga微米线形成的肖特基势垒能极大地促进光生电子的传输、收集和捕获。相较于现有技术,本发明通过构筑PtNPs@n‑ZnO : Ga/p‑SiC异质结构,在自驱动条件(0V偏压)下,实现对335nm紫外光的高响应度、高比探测率和高外量子效率。
专利主权项内容
1.一种PtNPs@n-ZnO : Ga/p-SiC异质结基自驱动紫外光电探测器,其特征在于,包括PtNPs@ZnO : Ga微米线(1)、p-SiC衬底(2)、PET(3)、金属Ag薄膜电极(4)、石墨烯电极(5)、金属Ti/Au合金电极(6);所述p-SiC衬底(2)一端镀有金属Ti/Au合金电极(6);所述PET(3)中间留有凹槽,并粘贴在p-SiC衬底(2)表面,石墨烯电极(5)中间附着于PtNPs@ZnO : Ga微米线(1)上,两侧附着于PET(3)上,位于PET(3)表面的单层石墨烯电极(5)蒸镀有金属Ag薄膜电极(4);所述单根PtNPs@ZnO : Ga微米线(1)位于凹槽中并与p-SiC衬底(2)接触。