用于半导体分选一体机的自动控制方法及系统
申请人信息
- 申请人:东屹半导体科技(江苏)有限公司
- 申请人地址:226000 江苏省南通市南通经济技术开发区驰行路123号智锐达园区厂房(二)一楼
- 发明人: 东屹半导体科技(江苏)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于半导体分选一体机的自动控制方法及系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311823941.0 |
| 申请日 | 2023/12/28 |
| 公告号 | CN117463645A |
| 公开日 | 2024/1/30 |
| IPC主分类号 | B07C5/36 |
| 权利人 | 东屹半导体科技(江苏)有限公司 |
| 发明人 | 叶十逢; 俞子强 |
| 地址 | 江苏省南通市南通经济技术开发区驰行路123号智锐达园区厂房(二)一楼 |
摘要文本
本发明提供了用于半导体分选一体机的自动控制方法及系统，涉及数据处理技术领域，通过接收待分选半导体图像和基准半导体图像识别生成关联抓手位置标识以调取多个真空吸盘抓手执行抓取定位控制并采集抓手定位图像，进而基于分选抓手定位图像信息确定抓手坐标偏离系数，当偏离系数小于或等于坐标偏离系数阈值时，激活多个真空吸盘抓手执行半导体分选。解决现有技术中存在基于不同类型半导体芯片抓取位置的差异性，导致传统半导体分选机无法实现多类半导体芯片的抓取方案自动化生成的技术问题。达到了根据半导体形状特征自动化分析确定进行半导体无损抓取的抓取位点信息，提高半导体分选一体机进行不特定半导体芯片的抓取灵活性的技术效果。
专利主权项内容
1.用于半导体分选一体机的自动控制方法，其特征在于，应用于半导体分选一体机的自动控制系统，所述系统内嵌于半导体分选一体机，所述半导体分选一体机具有多个真空吸盘抓手，所述系统包括抓取控制标识模块和视觉检测模块，包括：当待分选半导体输送至半导体分选一体机的第一平台，激活视觉检测模块的图像传感器采集待分选半导体图像；配置预设半导体图像库，其中，所述预设半导体图像库的任意一张基准半导体图像具有抓手位置标识，其中，所述抓手位置标识的参考坐标系部署于基准半导体图像；基于所述预设半导体图像库，激活抓取控制标识模块，接收待分选半导体图像和基准半导体图像进行识别，生成关联抓手位置标识；根据所述关联抓手位置标识，调取多个真空吸盘抓手执行抓取定位控制，定位完成后调取图像传感器，采集抓手定位图像信息；激活所述视觉检测模块的抓手定位坐标通道，对所述抓手定位图像信息进行分析，生成抓手定位坐标标识；激活所述视觉检测模块的坐标比对通道，对所述抓手定位坐标标识和所述关联抓手位置标识进行分析，生成抓手坐标偏离系数；当所述抓手坐标偏离系数小于或等于坐标偏离系数阈值，激活所述多个真空吸盘抓手执行半导体分选。 （来 自 马 克 数 据 网）