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一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描装置及方法
申请人信息
- 申请人:南通大学
- 申请人地址:226000 江苏省南通市崇川区永福路79号1幢南通大学技术转移研究院
- 发明人: 南通大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311736064.3 |
| 申请日 | 2023/12/18 |
| 公告号 | CN117723786A |
| 公开日 | 2024/3/19 |
| IPC主分类号 | G01Q60/44 |
| 权利人 | 南通大学 |
| 发明人 | 邢强; 万晗驰; 张培好; 杨雅雯; 徐海黎 |
| 地址 | 江苏省南通市崇川区启秀路19号 |
摘要文本
本申请公开了一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描装置及方法，该方法包括：在基底上沉积出两个沉积点；基于沉积点的图像，获取两个沉积点之间的图像距离；基于探针的扫描结果，获取两个沉积点之间的空间距离；确定图像距离与探针位移距离之间的相对位置关系；获取样本在坐标系中的对应位置关系；基于路径算法，规划路径对样本进行三维扫描并获取目标的三维结构。本申请减少了沉积探针和扫描探针切换需要抬起探针支架的繁琐步骤，降低了因探针支架的抬起可能造成的探针与基底发生碰撞的可能；完成了图像距离与探针位移距离之间相对位置关系的标定，消除了扫描探针扫描轨迹的冗余，大大提高了三维微纳结构的扫描成像效率。
专利主权项内容
1.一种基于SICM的玻璃微探针快速自动扫描方法，其特征在于，包括以下步骤：在基底上沉积出两个沉积点，并拍摄所述沉积点的图像；基于所述沉积点的图像，获取两个所述沉积点之间的图像距离；切换探针并扫描所述沉积点，获取两个所述沉积点之间的空间距离；基于所述图像距离以及所述空间距离，确定图像距离与探针位移距离之间的相对位置关系；将样本置于基底上，并选一个所述沉积点为原点建立坐标系，获取第二图片；其中，所述第二图片包括原点以及样本的相对位置；基于所述第二图片以及所述坐标系，获取样本在所述坐标系中的对应位置关系；基于路径算法以及所述样本在所述坐标系中的对应位置关系，规划路径对样本进行三维扫描并获取所述目标的三维结构。。