一种晶圆载片台
申请人信息
- 申请人:海安明光光学玻璃科技有限公司
- 申请人地址:226000 江苏省南通市海安市海安镇长江西路288号1幢
- 发明人: 海安明光光学玻璃科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆载片台 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311394289.5 |
| 申请日 | 2023/10/26 |
| 公告号 | CN117457569A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | H01L21/687 |
| 权利人 | 海安明光光学玻璃科技有限公司 |
| 发明人 | 刘连发 |
| 地址 | 江苏省南通市海安市海安镇长江西路288号1幢 |
摘要文本
本发明提供一种晶圆载片台，涉及晶圆加工领域，包括底座，底座顶部固定连接有立架，底座侧面螺纹连接有螺纹杆，螺纹杆底部固定连接有手轮，螺纹杆顶部转动连接有托板，底座顶部固定连接有传送带，通过控制电动伸缩杆D运转，可以使电热台向上插入半圆孔，可以对储片壳内侧的晶圆进行托起，通过程序控制电动伸缩杆C运转，可以使其带动开架向左右两侧平移，可以将左右两侧的储片壳向左右两侧分开，可以防止在对晶圆保护结构分开时对晶圆底部摩擦，可以使晶圆在载片台上定位更为稳定准确，解决了现有载片台在装载晶圆时晶圆底部容易与载片台发生水平方向的摩擦，会降低使晶圆在载片台上定位的稳定性和准确性的问题。
专利主权项内容
1.一种晶圆载片台，其特征在于，包括：底座(1)；所述底座(1)顶部固定连接有立架(101)，底座(1)侧面螺纹连接有螺纹杆(102)，螺纹杆(102)底部固定连接有手轮，螺纹杆(102)顶部转动连接有托板(103)，底座(1)顶部固定连接有传送带(104)，底座(1)顶部固定连接有电动伸缩杆A(105)，电动伸缩杆A(105)伸缩部固定连接有拉架(106)，拉架(106)左右两侧底部滑动连接有弹簧楔块A(107)；所述立架(101)顶部固定连接有滑台(2)，滑台(2)顶部固定连接有电动伸缩杆B(201)，电动伸缩杆B(201)伸缩部前端固定连接有推架(202)，推架(202)与滑台(2)滑动连接；所述立架(101)前端固定连接有定位仓(3)，定位仓(3)左侧开设有装卸槽；所述定位仓(3)内侧设置有更换仓(4)，更换仓(4)内侧立面处开设有垂直槽(401)，更换仓(4)内侧底部固定连接有支撑弹簧(402)，支撑弹簧(402)顶部固定连接有推板(403)，推板(403)外侧固定连接有滑块(404)，滑块(404)与垂直槽(401)滑动连接，支撑弹簧(402)顶部固定连接有推板(403)。