一种真空玻璃镀膜设备及工艺
申请人信息
- 申请人:皓晶控股集团股份有限公司
- 申请人地址:226100 江苏省南通市海门市滨江街道海宝路366号
- 发明人: 皓晶控股集团股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种真空玻璃镀膜设备及工艺 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311798059.5 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN117758221A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 皓晶控股集团股份有限公司 |
| 发明人 | 季亚林; 姚树国; 熊灿 |
| 地址 | 江苏省南通市海门市滨江街道海宝路366号 |
摘要文本
本发明公开了一种真空玻璃镀膜设备及工艺，属于镀膜设备技术领域，包括底座，底座上设置有磁控系统、抽真空系统、惰性气体补给系统、废气处理系统，真空室固定连接在底座上，底座上设置有真空室盖板，真空室上设置有开合部件，镀膜伞部件设置在开合部件上，真空室上设置有镀膜驱动部件。本发明将一体式的镀膜伞分割成多个镀膜伞单元，而后利用将其展开的方式，便于人员取放玻璃基板，提高作业效率；能够防止玻璃基板在镀膜过程中由于形变而崩边损坏，且防止夹持单元遮挡玻璃基板镀膜，提高良品率；使得溅射镀膜覆盖范围广，镀膜更均匀，提高作业质量。 来源：百度搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种真空玻璃镀膜设备，包括底座(101)，底座(101)上设置有磁控系统(104)、抽真空系统(105)、惰性气体补给系统(106)、废气处理系统(107)，真空室(102)固定连接在底座(101)上，底座(101)上设置有真空室盖板(103)，其特征在于：所述的真空室(102)上设置有开合部件(3)，镀膜伞部件(2)设置在开合部件(3)上，真空室(102)上设置有镀膜驱动部件(4)，所述的镀膜伞部件(2)用于装载玻璃基板(5)，开合部件(3)用于控制镀膜伞部件(2)的形态，镀膜驱动部件(4)用于给玻璃基板(5)镀膜；所述的开合部件(3)包括镀膜伞座(301)，镀膜伞座(301)固定连接在真空室(102)上，镀膜伞座(301)上固定连接多组镀膜伞安装架(303)，镀膜伞座(301)上转动连接多个开合齿轮(302)，多个开合齿轮(302)呈等距圆周阵列分布，镀膜伞座(301)上转动连接开合齿圈(304)，开合齿圈(304)与镀膜伞座(301)之间设置有摩擦片，用于增大摩擦力，开合齿圈(304)与镀膜伞座(301)同轴，开合齿圈(304)分别与多个开合齿轮(302)啮合，开合齿轮(302)上转动连接开合轴(305)，开合轴(305)上转动连接开合拉杆(306)；所述的镀膜伞部件(2)包括多个镀膜伞单元(201)，镀膜伞单元(201)上固定连接镀膜伞架(202)，镀膜伞架(202)与镀膜伞安装架(303)转动连接，镀膜伞架(202)与开合拉杆(306)活动连接；通过开合齿圈(304)带动开合齿轮(302)转动，开合齿轮(302)的转动使得开合轴(305)拉动开合拉杆(306)，从而实现开合拉杆(306)拉动镀膜伞架(202)使得镀膜伞单元(201)调整形态。