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一种温度传感器及其制备方法
申请人信息
- 申请人:广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院; 中山大学
- 申请人地址:528300 广东省佛山市顺德区大良南国东路9号
- 发明人: 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院; 中山大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种温度传感器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201710362051.2 |
| 申请日 | 2017年5月19日 |
| 公告号 | CN107063498B |
| 公开日 | 2024年1月30日 |
| IPC主分类号 | G01K7/34 |
| 权利人 | 广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院; 中山大学 |
| 发明人 | 王凯; 冯肖; 李伟伟 |
| 地址 | 广东省佛山市顺德区大良南国东路9号; 广东省广州市海珠区新港西路135号 |
摘要文本
广东顺德中山大学卡内基梅隆大学国际联合研究院; 中山大学获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种温度传感器，包括双栅薄膜晶体管和温度传感电容，并且形成因温度变化引起电流改变的传感器件。所述温度传感电容与双栅薄膜晶体管的顶栅电极集成，并且形成因温度变化引起电流变化的传感器件。所述传感器件包括自上而下依次分布的上极板、电容介质层、充当顶栅电极的下极板、晶体管的顶栅绝缘层、半导体层、晶体管的底栅绝缘层、基板；所述的顶栅绝缘层内设有源极和漏极；所述底栅绝缘层内设有底栅电极。采用本发明所述的温度传感器，具有高灵敏度和电路简单的特点。 来自：
专利主权项内容
1.一种温度传感器，其特征在于，包括双栅薄膜晶体管和温度传感电容，并且形成因温度变化引起电流改变的传感器件；所述温度传感电容与双栅薄膜晶体管的顶栅电极集成, 并且形成因温度变化引起电流变化的传感器件；所述传感器件包括自上而下依次分布的上极板、电容介质层、充当顶栅电极的下极板、晶体管的顶栅绝缘层、半导体层、晶体管的底栅绝缘层、基板；所述的顶栅绝缘层内设有源极和漏极；所述底栅绝缘层内设有底栅电极。 更多数据：搜索马克数据网来源：