一种可抑制中心波长漂移的MEMS光谱成像系统及方法

摘要文本

本发明主要提供了一种可抑制中心波长漂移的MEMS光谱成像系统及方法，属于光谱测量成像校准技术领域，将MEMS法布里珀罗干涉腔安装于图像传感器CMOS与光学成像镜头之间，在光学成像镜头内对光束进行校准，使得通过腔体的光束的主光线以平行于法布里珀罗干涉腔玻璃平片的法线方向进入，使得每个视场经过法布里珀罗干涉腔的主光线的光程之间的差异小于2％。本发明在面曝光的场景下，提出了一种可以从根本上实现基于MEMS光谱成像的中心波长漂移抑制的系统与方法，光谱漂移的程度降低了20倍；极大的提升了基于MEMS实现面曝光的光谱成像相机的实用性、经济性、准确性和可靠性。