一种金属基陶瓷传感器及其制备方法
申请人信息
- 申请人:中北大学
- 申请人地址:030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
- 发明人: 中北大学
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种金属基陶瓷传感器及其制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410225205.3 |
| 申请日 | 2024/2/29 |
| 公告号 | CN117798369A |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | B22F7/04 |
| 权利人 | 中北大学 |
| 发明人 | 董和磊; 王宇; 谭秋林; 庞俊奇 |
| 地址 | 山西省太原市尖草坪区学院路3号 |
摘要文本
本发明涉及薄膜/厚膜传感器技术，具体是一种金属基陶瓷传感器及其制备方法。一种金属基陶瓷传感器，包括氧化铝陶瓷绝缘层、层叠于氧化铝陶瓷绝缘层上表面的第一陶瓷/金属混合递进过渡层、层叠于第一陶瓷/金属混合递进过渡层上表面的第二陶瓷/金属混合递进过渡层、层叠于第二陶瓷/金属混合递进过渡层上表面的第三陶瓷/金属混合递进过渡层、层叠于第三陶瓷/金属混合递进过渡层上表面的第四陶瓷/金属混合递进过渡层、层叠于第四陶瓷/金属混合递进过渡层上表面的金属层、层叠于氧化铝陶瓷绝缘层下表面的传感器功能层。本发明解决了现有金属基薄膜/厚膜传感器在高温环境下绝缘层容易脱落和被击穿的问题，适用于航空航天、钢铁、电力等领域。
专利主权项内容
1.一种金属基陶瓷传感器，其特征在于：包括氧化铝陶瓷绝缘层(1)、层叠于氧化铝陶瓷绝缘层(1)上表面的第一陶瓷/金属混合递进过渡层(2)、层叠于第一陶瓷/金属混合递进过渡层(2)上表面的第二陶瓷/金属混合递进过渡层(3)、层叠于第二陶瓷/金属混合递进过渡层(3)上表面的第三陶瓷/金属混合递进过渡层(4)、层叠于第三陶瓷/金属混合递进过渡层(4)上表面的第四陶瓷/金属混合递进过渡层(5)、层叠于第四陶瓷/金属混合递进过渡层(5)上表面的金属层(6)、层叠于氧化铝陶瓷绝缘层(1)下表面的传感器功能层(7)；所述第一陶瓷/金属混合递进过渡层(2)由以下重量百分比的组分制成：玻璃粉1%~3%，松油醇15%~20%，乙基纤维素1%~2%，聚乙烯吡咯烷酮1%~2%，氧化铝粉58%~62%，镍粉13%~17%，各组分的重量百分比之和为100%；所述第二陶瓷/金属混合递进过渡层(3)由以下重量百分比的组分制成：玻璃粉1%~3%，松油醇15%~20%，乙基纤维素1%~2%，聚乙烯吡咯烷酮1%~2%，氧化铝粉43%~47%，镍粉28%~32%，各组分的重量百分比之和为100%；所述第三陶瓷/金属混合递进过渡层(4)由以下重量百分比的组分制成：玻璃粉1%~3%，松油醇15%~20%，乙基纤维素1%~2%，聚乙烯吡咯烷酮1%~2%，氧化铝粉28%~32%，镍粉43%~47%，各组分的重量百分比之和为100%；所述第四陶瓷/金属混合递进过渡层(5)由以下重量百分比的组分制成：玻璃粉1%~3%，松油醇15%~20%，乙基纤维素1%~2%，聚乙烯吡咯烷酮1%~2%，氧化铝粉13%~17%，镍粉58%~62%，各组分的重量百分比之和为100%；所述金属层(6)由以下重量百分比的组分制成：玻璃粉0.2%~0.8%，松油醇70%~79%，乙基纤维素0.1%~0.5%，聚乙烯吡咯烷酮0.1%~0.5%，镍粉20%~29%，各组分的重量百分比之和为100%；所述传感器功能层(7)为ITO/InO热电偶。23