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一种多腔室磁控溅射连续镀膜机
申请人信息
- 申请人:东莞市德派精密机械有限公司
- 申请人地址:523000 广东省东莞市东城街道东城科技工业园东科路38号硅谷动力2025科技园A9栋2楼
- 发明人: 东莞市德派精密机械有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种多腔室磁控溅射连续镀膜机 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410117898.4 |
| 申请日 | 2024/1/26 |
| 公告号 | CN117737675A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 东莞市德派精密机械有限公司 |
| 发明人 | 杨逑; 刘浩然; 严胜山; 夏祥权 |
| 地址 | 广东省东莞市东城街道东城科技工业园东科路38号硅谷动力2025科技园A9栋2楼 |
摘要文本
本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是指一种多腔室磁控溅射连续镀膜机，包括镀膜设备以及送料单元，所述送料单元包括上料机器人、上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构，上料机器人位于上料架、下料架、取料传输机构以及镀膜设备之间；上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输板件的传输回路。本发明通过让上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输板件的传输回路，使得板件在经过上一工艺加工后可直接在送料单元之间流转，从而达到了有效板件各工艺之间的加工时间，有利于提升时间利用率。
专利主权项内容
1.一种多腔室磁控溅射连续镀膜机，包括镀膜设备以及送料单元，其特征在于：所述送料单元包括上料机器人、上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构，上料机器人位于上料架、下料架、取料传输机构以及镀膜设备之间；第一传输机构用于把板件自上料机构移送至取料传输机构；上料机器人用于在取料传输机构与镀膜设备之间交换物料；镀膜设备设置有过渡门、过渡腔室、真空门、镀膜腔室以及换板机构，过渡腔室与镀膜腔室连通，真空门用于隔绝过渡腔室与镀膜腔室，过渡门用于把过渡腔室与外界隔绝，换板机构用于对过渡腔室与镀膜腔室之间交换板件；第二传输机构用于把镀膜后的板件自取料传输机构移送至下料机构；上料机构、第一传输机构、取料传输机构、第二传输机构以及下料机构构成用于传输板件的传输回路。。来源：百度马 克 数据网