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一种用于石墨舟归整硅片的装置
申请人信息
- 申请人:深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业园)D栋
- 发明人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于石墨舟归整硅片的装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711320292.7 |
| 申请日 | 2017年12月12日 |
| 公告号 | CN107845704B |
| 公开日 | 2024年3月26日 |
| IPC主分类号 | H01L31/18 |
| 权利人 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 发明人 | 杜晓铭; 余仲; 李操政; 唐晓宇; 张勇 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区横岗街道横坪公路89号数字硅谷(涌鑫工业园)D栋 |
摘要文本
深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了用于石墨舟归整硅片的装置，包括：底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上。本发明延长了石墨舟的使用寿命，降低了其维护成本，同时适用于不同磨损程度的石墨舟片的使用。
专利主权项内容
1.一种用于石墨舟归整硅片的装置，其特征在于，包括：底座；定位机构，用于对所述石墨舟进行定位；一个或多个振动装置，设置在所述底座上，设置有振动源、以及与所述定位机构对接的并可控的对接结构，所述振动源通过所述对接结构将振动传递到所述石墨舟上；所述对接结构包括振动传递板以及与所述振动传递板传动连接的提升机构，所述振动源安装在所述振动传递板上，所述提升机构包括气缸，所述气缸水平置于所述底座上，所述气缸的推杆上设置有一气缸顶升块，所述振动传递板下侧设置有第一垫块，所述第一垫块与所述气缸顶升块之间相对垂直设置并通过斜面接触；所述对接结构还包括导向机构，所述导向机构包括固定设置的直线轴承以及设置在所述直线轴承上的导柱，所述导柱与所述振动传递板固定连接。 来源：马 克 团 队