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一种用于晶圆加工的载板清洗设备及其清洗方法
申请人信息
- 申请人:深圳市凯尔迪光电科技有限公司
- 申请人地址:518400 广东省深圳市光明区凤凰街道东坑社区光明大道481号乐府广场1B1811-3
- 发明人: 深圳市凯尔迪光电科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于晶圆加工的载板清洗设备及其清洗方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410196534.X |
| 申请日 | 2024/2/22 |
| 公告号 | CN117753719A |
| 公开日 | 2024/3/26 |
| IPC主分类号 | B08B3/02 |
| 权利人 | 深圳市凯尔迪光电科技有限公司 |
| 发明人 | 郑国绍; 曾志家; 张彥平 |
| 地址 | 广东省深圳市光明区凤凰街道东坑社区光明大道481号乐府广场1B1811-3 |
摘要文本
本发明实施例公开了一种用于晶圆加工的载板清洗设备，其包括 : 包括 : 防护外壳，设置于所述防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，所述防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件。其通过设置于防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件，共同实现了载板的全程自动化清洗，且能保持严苛的清洗环境，且还公开了一种清洗方法，在各个步骤独立执行清洗以及洁净清洗空间处理，最终实现了载板的安全、可靠、高标准的清洗工艺。 更多数据：搜索专利查询网来源：
专利主权项内容
1.一种用于晶圆加工的载板清洗设备，其特征在于，包括 : 防护外壳，设置于所述防护外壳内的真空干燥组件、箱盖分离组件、箱体清洗组件、盖体清洗组件以及机械手，所述防护外壳上还设有开合门，所述开合门所在的门口处还设有载板输送组件；其中，所述载板输送组件用于将用于晶圆加工的载板从上一工序转运至所述防护外壳内；所述真空干燥组件用于将所述载板输送组件转移的载板进行真空干燥处理；所述箱盖分离组件用于将载板的箱体和盖体解锁以致二者处于分离状态；所述箱体清洗组件用于将载板的箱体部分进行清洗处理；所述盖体清洗组件用于将载板的盖体部分进行清洗处理；所述机械手用于将载板、箱体以及盖体按照设定工序分别转移至对应的工位。