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薄膜掩膜版夹具和薄膜掩膜版固定在夹具的固定方法
申请人信息
- 申请人:北京大学深圳研究生院
- 申请人地址:518055 广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城北大园区H栋208室
- 发明人: 北京大学深圳研究生院
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 薄膜掩膜版夹具和薄膜掩膜版固定在夹具的固定方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410065326.6 |
| 申请日 | 2024/1/17 |
| 公告号 | CN117684124A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | C23C14/04 |
| 权利人 | 北京大学深圳研究生院 |
| 发明人 | 陆磊; 孙杰; 王云萍; 韩子娟; 张猛; 孙晨晅; 王锐 |
| 地址 | 广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城北大园区H栋208室 |
摘要文本
本申请提供了一种薄膜掩膜版夹具以及薄膜掩膜版固定在夹具的固定方法，薄膜掩膜版夹具包括外框、承托部以及定位部。外框上设置有贯通的安装口；安装口设有第一卡接部，第一卡接部用于与薄膜掩膜版的第二卡接部卡接；承托部安装于安装口的底部，承托部用于放置和粘接薄膜掩膜版；定位部用于向薄膜掩膜版施加平行于安装口的轴心线的作用力，以将薄膜掩膜版定位在承托部上。该薄膜掩膜版夹具与薄膜掩膜版的固定方式为机械卡接固定加粘接固定，并且，在机械和粘接固定后，再使用定位部将薄膜掩膜版定位于承托部上，通过在平行于安装口的轴心线的方向对薄膜掩膜版施加作用力，能够提高薄膜掩膜版的平整度。 来源：马 克 团 队
专利主权项内容
1.一种薄膜掩膜版夹具，其特征在于，包括：外框，所述外框上设置有贯通的安装口；所述安装口设有第一卡接部，所述第一卡接部用于与薄膜掩膜版的第二卡接部卡接；承托部，所述承托部安装于所述安装口的底部，所述承托部用于放置和粘接所述薄膜掩膜版；以及定位部，所述定位部用于向所述薄膜掩膜版施加平行于所述安装口的轴心线的作用力，以将所述薄膜掩膜版定位在所述承托部上。