← 返回列表
沉积炉、生产设备及气相沉积制备方法
申请人信息
- 申请人:深圳市美格真空科技有限公司
- 申请人地址:518118 广东省深圳市坪山区坪山街道六和社区宝山第四工业区20栋南边1号101
- 发明人: 深圳市美格真空科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 沉积炉、生产设备及气相沉积制备方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410224260.0 |
| 申请日 | 2024/2/29 |
| 公告号 | CN117802575A |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | C30B25/00 |
| 权利人 | 深圳市美格真空科技有限公司 |
| 发明人 | 李光俊; 苟冉 |
| 地址 | 广东省深圳市坪山区坪山街道六和社区宝山第四工业区20栋南边1号101 |
摘要文本
本发明涉及热处理设备技术领域，公开了一种沉积炉、生产设备及气相沉积制备方法。沉积炉包括反应仓、过渡仓和沉积仓，反应仓设置有第一腔，第一腔被配置为具有第一温度T1；过渡仓设置有第二腔，第二腔被配置为具有第二温度T2；沉积仓设置有第三腔，第三腔用于沉积结晶，第三腔被配置为具有第三温度T3；其中，第一腔、第二腔和第三腔依次连通，满足：T1＜T2＜T3。通过在反应仓和沉积仓之间设置有过渡仓，并通过控制温度差实现三温区设置，能够使得原料在反应仓内蒸发后，蒸气先经过过渡仓再到达沉积仓，使得随着蒸气运动的原料粉末留置在过渡仓内，降低原料粉末进入沉积仓内的几率，确保沉积仓内的结晶的纯度达标，确保产品良率。。 （来源 专利查询网）
专利主权项内容
1.沉积炉，其特征在于，包括：加热组件，包括第一加热件和第二加热件；反应仓，设置有第一腔，所述第一腔用于容置原料，所述第一加热件设置于所述反应仓的外侧，所述第一加热件用于将所述反应仓加热至具有第一温度T1；过渡仓，设置有第二腔，所述第二加热件设置于所述过渡仓的外侧，所述第二加热件用于将所述第二腔加热至具有第二温度T2；沉积仓，设置有第三腔，所述第三腔用于沉积结晶，所述第二加热件能够将所述第三腔加热至具有第三温度T3；第一真空泵，连通于所述第三腔，用于提供负压；其中，所述第一腔、所述第二腔和所述第三腔依次连通，满足：T1＜T2＜T3。