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基于半自动射频匹配器的匹配方法、装置、设备及介质
申请人信息
- 申请人:深圳市广能达半导体科技有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市宝安区新桥街道黄埔社区上南东路128号1号厂房五层
- 发明人: 深圳市广能达半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于半自动射频匹配器的匹配方法、装置、设备及介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410158491.6 |
| 申请日 | 2024/2/4 |
| 公告号 | CN117713733A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | H03H7/38 |
| 权利人 | 深圳市广能达半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 黄加祥; 邓顶阳; 张振伟 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区新桥街道黄埔社区上南东路128号1号厂房五层 |
摘要文本
本发明涉及阻抗匹配技术领域，揭露一种基于半自动射频匹配器的匹配方法，包括：构建工作电路，并获取射频匹配器中负载电容和谐调电容的初始占比；读取工作电路的反射值，并通过调节初始占比，使得反射值为零值时，记录谐调电容占比；保持谐调电容占比，通过调节负载电容对应的电机，得到负载电容占比，重新读取反射值，得到当前反射值；基于反射调节值和当前反射值调整电机的转速；记录上次反射值，并根据上次反射值和当前反射值调整电机的转动方向；当当前反射值小于或等于预设停止值时，令电机停止转动，得到标准负载电容占比。本发明还提出一种基于半自动射频匹配器的匹配装置、设备及存储介质。本发明可以提升射频系统的效率。
专利主权项内容
1.一种基于半自动射频匹配器的匹配方法，其特征在于，所述方法包括：基于预设的射频匹配指令，根据射频电源、负载和射频匹配器构建工作电路，并获取所述射频匹配器中负载电容和谐调电容的初始占比；读取所述工作电路的反射值，并通过调节所述负载电容和所述谐调电容的初始占比，使得所述工作电路的反射值为零值时，记录所述谐调电容的电容占比；保持所述谐调电容占比不变，通过调节所述负载电容对应的电机，调整所述负载电容的电容占比，得到负载电容占比，并重新读取所述工作电路的反射值，得到当前反射值；获取预设反射调节值，并基于所述预设反射调节值和所述当前反射值调整所述电机的转速；记录上次反射值，并根据所述上次反射值和所述当前反射值调整所述电机的转动方向；当所述当前反射值小于或等于预设停止值时，令所述电机停止转动，得到标准负载电容占比。