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探针台
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 探针台 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410099882.5 |
| 申请日 | 2024/1/24 |
| 公告号 | CN117607665A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | G01R31/28 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 刘世文 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
本申请提供一种探针台。所述探针台包括：壳体；盖板，所述盖板抵接于壳体，并与壳体围设形成收容空间；卡盘，所述卡盘收容于收容空间内，卡盘具有第一吸附面板，第一吸附面板具有第一吸附面，第一吸附面能够吸附并承载晶圆；机械手，所述机械手用于运输晶圆；及中转组件，所述中转组件设置于盖板邻近卡盘的一侧，中转组件用于在机械手及卡盘之间中转运输晶圆，中转组件包括第二吸附面板，第二吸附面板在背离盖板的一侧具有第二吸附面，第二吸附面能够吸附机械手运输的晶圆，卡盘能够移动至中转组件的一侧，并承接中转组件吸附的晶圆。所述探针台能够顺利完成晶圆的运输过程，避免晶圆无法被卡盘或机械手吸附的情形，从而提升探针台的可靠性。
专利主权项内容
1.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括：壳体；盖板，所述盖板抵接于所述壳体，并与所述壳体围设形成收容空间；卡盘，所述卡盘收容于所述收容空间内，所述卡盘具有第一吸附面板，所述第一吸附面板具有第一吸附面，所述第一吸附面能够吸附并承载晶圆；机械手，所述机械手用于运输晶圆；及中转组件，所述中转组件设置于所述盖板邻近所述卡盘的一侧，所述中转组件用于在所述机械手及所述卡盘之间中转运输晶圆，所述中转组件包括第二吸附面板，所述第二吸附面板在背离所述盖板的一侧具有第二吸附面，所述第二吸附面能够吸附所述机械手运输的晶圆，所述卡盘能够移动至所述中转组件的一侧，并承接所述中转组件吸附的晶圆。