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检测夹具装置及晶圆检测系统
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 检测夹具装置及晶圆检测系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410135509.0 |
| 申请日 | 2024/1/31 |
| 公告号 | CN117665339A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | G01R1/04 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 欧晓永 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
本申请涉及一种检测夹具装置及晶圆检测系统。检测夹具装置包括：承载台，第一夹具组件、第二夹具组件及紧固组件，承载台设置待检测晶圆；第一夹具组件夹持承载台；第二夹具组件与第一夹具组件层叠设置，第二夹具组件夹持探针卡，探针卡检测待检测晶圆；紧固组件包括连接件及弹性件，连接件包括相连的旋钮部、柱体部及连接部，弹性件套设于柱体部，旋钮部与弹性件位于第二夹具组件的一侧，柱体部穿设于第二夹具组件，当连接部为第一状态时，连接部嵌设于第二夹具组件内；当连接部为第二状态时，连接部凸出于第二夹具组件面向第一夹具组件的表面且与第一夹具组件可拆卸连接。检测夹具装置便于对待检测晶圆的搬运。
专利主权项内容
1.一种检测夹具装置，其特征在于，所述检测夹具装置包括：承载台，所述承载台用于设置待检测晶圆；第一夹具组件，所述第一夹具组件用于夹持所述承载台；第二夹具组件，所述第二夹具组件层叠设置于所述第一夹具组件的一侧，所述第二夹具组件用于夹持探针卡，所述探针卡用于检测所述待检测晶圆；以及紧固组件，所述紧固组件包括连接件及弹性件，所述连接件包括依次相连的旋钮部、柱体部及连接部，所述弹性件套设于所述柱体部的外周，所述旋钮部与所述弹性件均位于所述第二夹具组件背离所述第一夹具组件的一侧，所述柱体部穿设于所述第二夹具组件，所述连接部具有相对于所述第二夹具组件的第一状态及第二状态，当所述连接部处于第一状态时，所述连接部嵌设于所述第二夹具组件内；当所述连接部处于第二状态时，所述连接部凸出于所述第二夹具组件面向所述第一夹具组件的表面且与所述第一夹具组件可拆卸连接。