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一种射频电源信号同步检测系统
申请人信息
- 申请人:深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
- 申请人地址:518052 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301
- 发明人: 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种射频电源信号同步检测系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410153163.7 |
| 申请日 | 2024/2/4 |
| 公告号 | CN117691973A |
| 公开日 | 2024/3/12 |
| IPC主分类号 | H03K5/125 |
| 权利人 | 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 |
| 发明人 | 唐亚海; 林伟群; 沈圣锋; 詹宏金; 林芳成 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101, 201, 301 |
摘要文本
本发明涉及一种射频电源信号同步检测系统，属于射频电源信号同步检测技术领域，解决了现有射频电源信号同步过程中因线路传递信号延迟导致的相参准确性差的问题。该系统包括分路器、N条传输能力相同且等长的传输线路、N台射频电源从机；其中，所述分路器的输入端用于接收标准本振时钟信号；所述分路器包括N个输出端，每个输出端分别经由一条传输线路对应连接一台射频电源从机的输入端，每台射频电源从机的输出端分别连接相应的真空腔体；所述标准本振时钟信号经过分路器及等长的传输线路得到延迟时间及相位均相同的参考本振时钟信号，使得接入各台所述射频电源从机的输入端的所述参考本振时钟信号相参。
专利主权项内容
1.一种射频电源信号同步检测系统，其特征在于，所述系统包括分路器、N条传输能力相同且等长的传输线路、N台射频电源从机；其中，所述分路器的输入端用于接收标准本振时钟信号；所述分路器包括N个输出端，每个输出端分别经由一条传输线路对应连接一台射频电源从机的输入端，每台射频电源从机的输出端分别连接相应的真空腔体；所述标准本振时钟信号经过分路器及等长的传输线路得到延迟时间及相位均相同的参考本振时钟信号，使得接入各台所述射频电源从机的输入端的所述参考本振时钟信号相参。