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卡盘组件及探针台
申请人信息
- 申请人:深圳市森美协尔科技有限公司
- 申请人地址:518103 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层
- 发明人: 深圳市森美协尔科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 卡盘组件及探针台 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410132008.7 |
| 申请日 | 2024/1/31 |
| 公告号 | CN117665338A |
| 公开日 | 2024/3/8 |
| IPC主分类号 | G01R1/04 |
| 权利人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 发明人 | 刘世文 |
| 地址 | 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4号楼三层 |
摘要文本
本申请提供一种卡盘组件及探针台。卡盘组件包括：卡盘，卡盘具有承载面及第一通孔，承载面用于承载晶圆，第一通孔贯穿于承载面；顶杆组件，顶杆组件包括相连的顶杆及顶杆底座，顶杆底座连接于卡盘背离承载面的一侧，顶杆能够穿设于第一通孔；及干涉组件，干涉组件能够阻挡顶杆组件沿第一方向的移动；卡盘组件具有第一状态及第二状态，当卡盘组件处于第一状态时，顶杆未显露于承载面；当卡盘组件由第一状态切换至第二状态时：卡盘沿第一方向移动，干涉组件阻挡顶杆底座移动，顶杆穿设于第一通孔并显露于承载面，且顶杆能够将晶圆与卡盘相分离。所述卡盘组件能够避免顶杆震动将晶圆震坏、划伤，进而提升探针台的精准度和可靠性。
专利主权项内容
1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括：卡盘，所述卡盘具有承载面及第一通孔，所述承载面用于承载晶圆，所述第一通孔贯穿于所述承载面；顶杆组件，所述顶杆组件包括相连的顶杆及顶杆底座，所述顶杆底座连接于所述卡盘背离所述承载面的一侧，所述顶杆设置于所述顶杆底座邻近所述卡盘的一侧，并能够穿设于所述第一通孔；及干涉组件，所述干涉组件设置于所述卡盘背离所述承载面的一侧，并能够阻挡所述顶杆组件沿第一方向的移动，所述第一方向为所述卡盘指向所述顶杆底座的方向；所述卡盘组件具有第一状态及第二状态，当所述卡盘组件处于第一状态时，所述顶杆未显露于所述承载面；当所述卡盘组件由第一状态切换至第二状态时：所述卡盘沿第一方向移动，所述干涉组件阻挡所述顶杆底座移动，所述顶杆穿设于所述第一通孔并显露于所述承载面，且所述顶杆能够将晶圆与所述卡盘相分离。