叉臂组件及晶圆探针台

专利主权项内容

1.一种叉臂组件，其特征在于，所述叉臂组件包括：叉臂，所述叉臂具有凹槽及第一流道，所述叉臂还具有相背设置的第一表面及第二表面，所述凹槽贯穿所述第一表面，所述凹槽包括连通的第一子槽及第二子槽，所述第一子槽及第二子槽沿所述第一表面及所述第二表面的排布方向上排布，所述第一子槽贯穿所述第一表面，所述第一子槽的径向尺寸小于所述第二子槽的径向尺寸，所述第二子槽连通所述第一流道；以及吸盘，所述吸盘包括依次相连的卡持部、连接部及吸嘴，所述卡持部的径向尺寸大于所述连接部的径向尺寸，所述卡持部位于所述第二子槽内，所述连接部位于所述第一子槽内，所述吸嘴环绕所述连接部的外周设置且位于所述叉臂的所述第一表面侧，所述吸盘还具有第二流道，所述第二流道贯穿所述连接部背离所述卡持部的表面且贯穿所述卡持部的外周侧壁，所述第二流道与所述第一流道连通。