一种器件表面缺陷识别方法及识别系统

专利主权项内容

1.一种器件表面缺陷识别方法，其特征在于，应用于缺陷识别系统，所述方法包括：获取拟检测器件对应的器件表面图像，并基于缺陷类型识别网络的嵌入映射模块，对所述器件表面图像进行特征嵌入映射，得到所述器件表面图像对应的图像嵌入特征；基于所述缺陷类型识别网络的第一缺陷识别模块，依据所述图像嵌入特征对所述拟检测器件进行初阶缺陷识别，得到所述拟检测器件在缺陷类型树状结构中对应的目标初阶缺陷类型；其中，所述缺陷类型树状结构包括不少于两个初阶缺陷类型和对所述不少于两个初阶缺陷类型进行划分获得的多个二阶缺陷类型，每个所述二阶缺陷类型包括一个或多个代表图像信息；基于所述缺陷类型识别网络的第二缺陷识别模块，依据所述图像嵌入特征及各所述二阶缺陷类型的描述特征载体对所述拟检测器件进行二阶缺陷识别，得到所述拟检测器件对应的目标二阶缺陷类型；其中，所述描述特征载体基于相应二阶缺陷类型包括的代表图像信息确定得到，所述目标二阶缺陷类型隶属所述目标初阶缺陷类型。