芯片表面缺陷检测方法及设备

专利主权项内容

1.一种芯片表面缺陷检测方法，其特征在于，应用于AI检测服务设备，所述方法包括：获取微电子芯片显微扫描图像训练样例和所述微电子芯片显微扫描图像训练样例的先验表面缺陷认证知识，所述先验表面缺陷认证知识用于反映所述微电子芯片显微扫描图像训练样例的目标表面缺陷；通过表面缺陷检测网络中的图像描述表达挖掘分支对所述微电子芯片显微扫描图像训练样例进行图像描述表达挖掘处理，得到所述微电子芯片显微扫描图像训练样例的图像描述表达序列，所述图像描述表达序列中的图像描述表达与所述微电子芯片显微扫描图像训练样例的图像细节的视觉输出变量具有一对一匹配关系；通过所述表面缺陷检测网络中的缺陷检测分支对所述图像描述表达序列进行表面缺陷检测处理，得到表面缺陷检测训练结果，所述缺陷检测分支用于捕捉所述微电子芯片显微扫描图像训练样例中的各个所述表面缺陷检测训练结果的第一缺陷区域和第二缺陷区域，所述表面缺陷检测训练结果存在最少两个，所述表面缺陷检测训练结果是依据所述表面缺陷检测网络的单次处理所得的；依据所述先验表面缺陷认证知识与所述表面缺陷检测训练结果之间的区别，对所述表面缺陷检测网络进行调校。