晶圆表面缺陷的视觉检测方法及系统

专利主权项内容

1.一种晶圆表面缺陷的视觉检测方法，其特征在于，所述方法包括：采集待检测晶圆的晶圆视觉图像，对所述晶圆视觉图像进行背景去除处理，得到无背景晶圆图像，并提取所述无背景晶圆图像对应的图像尺寸参数，结合所述图像尺寸参数，对所述无背景晶圆图像进行平滑处理，得到平滑晶圆图像；利用预设的优化函数计算所述平滑晶圆图像对应的像素优化权重，根据所述像素优化权重，对所述平滑晶圆图像进行图像优化处理，得到优化晶圆图像，对所述优化晶圆图像进行聚类分割处理，得到分割晶圆图像，对所述分割晶圆图像进行纹理去除，得到目标晶圆图像；构建所述目标晶圆图像对应的图像形状矩，结合所述目标晶圆图像，计算所述图像形状矩之间的形状相似度，根据所述形状相似度，识别出所述目标晶圆图像中的缺陷图像；识别所述缺陷图像中的缺陷位置，并提取所述缺陷图像对应的缺陷特征，根据所述缺陷特征，分析所述目标晶圆图像对应的缺陷类别，根据所述缺陷位置和所述缺陷类别，生成所述目标晶圆图像对应的缺陷检测结果。