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一种化学水浴制备二氧化锡薄膜的方法、二氧化锡薄膜及其用途

申请号: CN202410186175.X
申请人: 深圳无限光能技术有限公司
更新日期: 2026-03-17

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种化学水浴制备二氧化锡薄膜的方法、二氧化锡薄膜及其用途
专利类型 发明申请
申请号 CN202410186175.X
申请日 2024/2/20
公告号 CN117737714A
公开日 2024/3/22
IPC主分类号 C23C18/12
权利人 深圳无限光能技术有限公司
发明人 梁作; 易程鹏; 任虎鸣; 任宁宇
地址 广东省深圳市龙岗区宝龙街道宝龙社区宝龙四路安博创新产业园2栋301

摘要文本

本发明涉及一种化学水浴制备二氧化锡薄膜的方法、二氧化锡薄膜及其用途,所述方法包括以下步骤:(1)混合尿素、巯基乙酸和硫酸亚锡,得到化学浴沉积溶液,所述化学浴沉积溶液中不额外添加酸;(2)将基底浸入步骤(1)得到的所述化学浴沉积溶液中进行浸泡,然后取出基底依次进行洗涤和退火,所述基底上得到沉积的二氧化锡薄膜。本发明提供的方法能够在更加温和可控的条件下进行二氧化锡薄膜的沉积,pH值保持相对恒定,能够实现颗粒的均匀生长,以及二氧化锡薄膜的全覆盖性和高致密性,制备过程重复性高,所用化学浴沉积溶液可重复利用。。来自专利查询网

专利主权项内容

1.一种化学水浴制备二氧化锡薄膜的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:(1)混合尿素、巯基乙酸和硫酸亚锡,得到化学浴沉积溶液,所述化学浴沉积溶液中不添加酸;(2)将基底浸入步骤(1)得到的所述化学浴沉积溶液中进行浸泡,然后取出基底依次进行洗涤和退火,所述基底上得到沉积的二氧化锡薄膜。