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重复定位精度检测设备、方法及存储介质
申请人信息
- 申请人:矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区
- 发明人: 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 重复定位精度检测设备、方法及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410161600.X |
| 申请日 | 2024/2/5 |
| 公告号 | CN117711968A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | H01L21/66 |
| 权利人 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
| 发明人 | 周颖达; 吴汝权 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 |
摘要文本
本申请涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种重复定位精度检测设备、方法及存储介质，重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测系统、运动控制系统和计算分析系统；所述光学检测系统设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测系统用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析系统；所述运动控制系统用于控制光学检测系统的检测位置；所述计算分析系统用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。采用本申请可以计算得到被测物体的重复定位精度。
专利主权项内容
1.一种重复定位精度检测设备，其特征在于，所述重复定位精度检测设备包括：运动平台、光学检测系统、运动控制系统和计算分析系统；所述光学检测系统设置在所述运动平台上，并且能够在所述运动平台上沿第一方向进行往复运动，所述光学检测系统用于对被测物体离焦点之间的目标距离进行检测和收集，并将所述目标距离输出至所述计算分析系统；所述运动控制系统用于控制光学检测系统的检测位置；所述计算分析系统用于根据所述目标距离确定所述被测物体的重复定位精度。