一种晶圆激光开槽装置及开槽方法
申请人信息
- 申请人:珠海市申科谱工业科技有限公司
- 申请人地址:519000 广东省珠海市斗门区井岸镇洋青街10号2栋
- 发明人: 珠海市申科谱工业科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆激光开槽装置及开槽方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410233264.5 |
| 申请日 | 2024/3/1 |
| 公告号 | CN117798508A |
| 公开日 | 2024/4/2 |
| IPC主分类号 | B23K26/364 |
| 权利人 | 珠海市申科谱工业科技有限公司 |
| 发明人 | 胡学安; 安珂; 宋斌杰; 关力 |
| 地址 | 广东省珠海市斗门区井岸镇洋青街10号2栋 |
摘要文本
本发明旨在提供一种能实现双通道光路调节，能同时进行定位开槽和宽激光烧蚀的晶圆激光开槽装置。本发明包括激光发射器、光束扩束镜、第一波片、分束器、第一光路组、第二光路组、合束器、第二波片、射出反射镜组以及光学聚焦镜，光束扩束镜、第一波片和分束器设置在激光发射器输出的光路上，分束器将分成光束一和光束二，光束一和光束二分别射入第一光路组和第二光路组，合束器的输入端分别收集第一光路组和第二光路组发出的光束，第二波片和射出反射镜组依次设置在合束器的输出端将光束反射至发明光学聚焦镜处，光学聚焦镜将光束聚焦到产品相应位置烧蚀。本发明应用于晶圆激光开槽的技术领域。。来自马-克-数-据
专利主权项内容
1.一种晶圆激光开槽装置，其特征在于：它包括激光发射器(1)、光束扩束镜(2)、第一波片(3)、分束器(4)、第一光路组、第二光路组、合束器(5)、第二波片(6)、射出反射镜组以及光学聚焦镜(7)，所述光束扩束镜(2)、所述第一波片(3)和所述分束器(4)设置在所述激光发射器(1)输出的光路上，所述分束器(4)将分成光束一和光束二，光束一和光束二分别射入所述第一光路组和所述第二光路组，所述合束器(5)的输入端分别收集所述第一光路组和第二光路组发出的光束，所述第二波片(6)和所述射出反射镜组依次设置在所述合束器(5)的输出端将光束反射至所述光学聚焦镜(7)处，所述光学聚焦镜(7)将光束聚焦到产品相应位置烧蚀；所述第一光路组包括依次设置的第一光闸(8)、分束棱镜(9)以及第三波片(10)，所述第一光闸(8)靠近所述分束器(4)的输出端，光束一穿过所述第一光闸(8)、所述分束棱镜(9)和所述第三波片(10)进入所述合束器(5)中，所述第一光闸(8)可打开关闭调节光束一进入情况；所述第二光路组包括依次设置的第二光闸(11)、光掩模板(12)、第一反射镜(13)、第二反射镜(14)以及透镜模块(15)，所述第二光闸(11)靠近所述分束器(4)的输出端，光束二依次穿过所述第二光闸(11)和所述光掩模板(12)后，经所述第一反射镜(13)和所述第二反射镜(14)改变方向进入至所述透镜模块(15)形成宽激光束进入至所述合束器(5)中；所述射出反射镜组包括第三反射镜(16)和第四反射镜(17)，所述第三反射镜(16)呈一定角度将所述合束器(5)输出端发出的激光反射至所述第四反射镜(17)处，所述第四反射镜(17)将射入激光垂直射入至产品表面。