薄膜沉积设备传样装置及其传样方法

专利主权项内容

1.一种薄膜沉积设备传样装置，其特征在于，包括反应室，所述反应室内设有至少两个限位反应区，每一所述限位反应区用于容置一晶圆体或一晶圆环，所述晶圆体包括组装的晶圆和晶圆环；所述传样装置还包括与所述反应室连通的传输室，所述传输室包括：晶圆分离单元，可容置单一晶圆或单一晶圆环或单一晶圆体，用于使晶圆和晶圆环之间相互分离或使晶圆与晶圆环组合为晶圆体；存储单元，用于存储晶圆；中转单元，包括至少两个限位中转区，每一所述限位中转区用于放置一晶圆体或一晶圆环；移动结构，设有用于承载晶圆的晶圆装卸叉和用于承载晶圆环或晶圆体的晶圆环装卸叉，用于实现晶圆在所述存储单元与所述晶圆分离单元之间的相互传输，并且用于实现晶圆环和/或晶圆体在所述反应室与所述中转单元之间的相互传输以及晶圆环和/或晶圆体在所述晶圆分离单元与所述中转单元之间的相互传输。