一种石英晶片镀膜的装置
申请人信息
- 申请人:菲特晶(南京)电子有限公司
- 申请人地址:210038 江苏省南京市栖霞区南京经济技术开发区新港大道80-2号
- 发明人: 菲特晶(南京)电子有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种石英晶片镀膜的装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410181364.8 |
| 申请日 | 2024/2/18 |
| 公告号 | CN117737680A |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 菲特晶(南京)电子有限公司 |
| 发明人 | 陈凯; 夏良军; 仲崇玉; 夏广贤 |
| 地址 | 江苏省南京市栖霞区南京经济技术开发区新港大道80-2号 |
摘要文本
本发明公开了一种石英晶片镀膜的装置，属于真空镀膜技术领域，为了解决任一镀膜架上的部件直接卡死，导致整体镀膜设备停止运转的问题，发明包括泵箱和固定安装在泵箱底面上的若干支腿，真空镀膜箱体内腔中固定安装有驱动组件，驱动组件的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A，驱动组件的两侧分别固定安装有传动组件B，传动组件A输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件，传动组件A的输出末端均固定连接有警报组件，本发明当驱动组件其中一侧的晶片放置组件卡住时，会自行切断动力传输，并且不影响另一侧晶片放置组件正常运转，对另一侧晶片放置组件上的石英晶片进行正常的镀膜，同时，带动微型发电机运转，为警示灯供电。。关注公众号专利查询网
专利主权项内容
1.一种石英晶片镀膜的装置，包括泵箱(1)和固定安装在泵箱(1)底面上的若干支腿(2)，泵箱(1)的一侧设置有控制器(3)，控制器(3)的底面上也设置有若干支腿(2)，泵箱(1)的顶面上固定安装有真空镀膜箱体(4)，其特征在于：所述真空镀膜箱体(4)内腔中固定安装有驱动组件(5)，驱动组件(5)的两侧输出末端分别固定连接有传动组件A(6)，驱动组件(5)的两侧分别固定安装有传动组件B(7)，且传动组件A(6)均贯穿转动设置在传动组件B(7)上，传动组件A(6)输出端的外周外壁上均套设晶片放置组件(8)传动组件A(6)的输出末端均固定连接有警报组件(9)；所述传动组件A(6)包括连接轴(61)和设置在连接轴(61)一侧的传动轴(64)，且连接轴(61)和传动轴(64)通过卡接轴(62)进行卡接，同时传动轴(64)卡接晶片放置组件(8)上，传动轴(64)的外周外壁上螺纹连接有动力衔接组件(63)，动力衔接组件(63)的一端与卡接轴(62)相连接，传动轴(64)的输出末端固定连接有转轴(65)，转轴(65)与警报组件(9)进行固定连接，且贯穿设置在晶片放置组件(8)上。 （来源 马克数据网）