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一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜
申请人信息
- 申请人:茂莱(南京)仪器有限公司
- 申请人地址:211102 江苏省南京市江宁经济技术开发区铺岗街398号
- 发明人: 茂莱(南京)仪器有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410092427.2 |
| 申请日 | 2024/1/23 |
| 公告号 | CN117608068A |
| 公开日 | 2024/2/27 |
| IPC主分类号 | G02B21/02 |
| 权利人 | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
| 发明人 | 梁齐勇; 焦林鑫; 茹巧巧 |
| 地址 | 江苏省南京市江宁经济技术开发区铺岗街398号 |
摘要文本
本发明公开了一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，包括从物镜物方依次设置的具有正折射光焦度的第一透镜组G1、具有正折射光焦度的第二透镜组G2和具有负折射光焦度的第三透镜组G3，物镜光阑位于第一透镜组G1所在一侧，本发明的显微物镜通过三个透镜组配合，使形成的物镜系统具有更大的视场与更大的数值孔径，本发明的10倍显微镜物镜在保证齐焦距95mm的情况下，视场数、数值孔径和工作距离分别可以做到33、0.48以及10mm，并且具有良好的可加工性，满足半导体领域对观察分辨率、检测速度和大视场观测要求。
专利主权项内容
1.一种10倍大NA大视场平场复消色差显微物镜，其特征在于，包括从物镜物方依次设置的具有正折射光焦度的第一透镜组G1、具有正折射光焦度的第二透镜组G2和具有负折射光焦度的第三透镜组G3，物镜光阑位于第一透镜组G1所在一侧；6≥fG1/fobj≥4，2≥fG2/fobj≥1，-6≥fG3/fobj≥-10，其中fG1表示第一透镜组G1的焦距，fG2表示第二透镜组G2的焦距，fG3表示第三透镜组G3的焦距，fobj表示显微物镜焦距。