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一种基于干法镀的复合真空镀膜工艺方法
申请人信息
- 申请人:南通硅胜新材料科技有限公司
- 申请人地址:226000 江苏省南通市崇川区观音山街道新胜路158号迈普科技园12幢
- 发明人: 南通硅胜新材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基于干法镀的复合真空镀膜工艺方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202410114021.X |
| 申请日 | 2024/1/27 |
| 公告号 | CN117626206A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 南通硅胜新材料科技有限公司 |
| 发明人 | 黄吕全 |
| 地址 | 江苏省南通市崇川区观音山街道新胜路158号迈普科技园12幢 |
摘要文本
本发明公开了一种基于干法镀的复合真空镀膜工艺方法，涉及真空镀膜技术领域，该工艺方法包括以下步骤：S1、将待镀膜基材进行打磨抛光与清洗去杂处理，再置于干燥箱保存；S2、利用滴膜法在待镀膜基材表面制备单层密排的纳米底膜；S3、将待镀膜基材放置于真空镀膜设备内部的磁控溅射台顶端；S4、先采用直流磁控溅射技术在待镀膜基材表面进行自修复膜镀膜，再利用共溅射技术进行周期多层膜镀膜，并实时监测表面镀膜的应力；S5、依据应力监测结果对真空镀膜设备进行参数调整，直至得到满足性能需求的复合镀膜停止镀膜。本发明有效解决涂层中可能存在的应力问题，为最终得到性能优越的复合镀膜提供了可行且高效的制备途径。
专利主权项内容
1.一种基于干法镀的复合真空镀膜工艺方法，其特征在于，该工艺方法包括以下步骤：S1、将待镀膜基材进行打磨抛光与清洗去杂处理，再置于干燥箱保存；S2、利用滴膜法在所述待镀膜基材表面制备单层密排的纳米底膜；S3、将所述待镀膜基材放置于真空镀膜设备内部的磁控溅射台顶端；S4、先采用直流磁控溅射技术在所述待镀膜基材表面进行自修复膜镀膜，再利用共溅射技术进行周期多层膜镀膜，并实时监测表面镀膜的应力；S5、依据应力监测结果对所述真空镀膜设备进行参数调整，直至得到满足性能需求的复合镀膜停止镀膜，取出进行后处理得到最终的镀膜基材。