基于机器视觉的芯片外观缺陷自动检测系统

专利主权项内容

1.基于机器视觉的芯片外观缺陷自动检测系统，其特征在于，包括图像采集单元、对比分析单元、缺陷统计单元、检测效率分析单元和设备预警单元，所述图像采集单元能够对芯片外观进行采集，根据采集结果生成图像信息，并将图像信息发送至对比分析单元；所述对比分析单元获取到图像信息后，根据图像信息进行分析，提取图像信息中存在的外观缺陷，并将外观缺陷发送至缺陷统计单元；所述缺陷统计单元获取到外观缺陷，对外观缺陷进行分类统计，将外观缺陷的分类统计结果进行阈值分析，根据阈值分析结果对设备做出预测，生成设备故障信号或设备正常信号；所述检测效率分析单元获取到检测样本数量，并根据样本数量和检测样本所花费的时间，计算检测效率，根据检测效率进行阈值分析，生成高效率设备和低效率设备，所述检测效率分析单元将高效率设备和低效率设备发送至设备预警单元；所述设备预警单元获取到故障异常信号后，生成相应的故障异常预警，所述设备预警单元获取到高效率设备和低效率设备后，生成设备正常提醒或设备异常提醒。