一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法及系统

专利主权项内容

1.一种光子晶体镀膜缺陷的在线检测方法，其特征在于，所述方法包括：生成基础测试结果，所述基础测试结果为通过椭圆偏振光谱仪进行待镀膜光子晶体透光测试的测试结果，并建立基础测试结果中光子晶体的唯一标识映射；执行光子晶体的镀膜操作，当任意光子晶体镀膜完成后，通过所述唯一标识映射调用对应基础测试结果；通过所述椭圆偏振光谱仪进行镀膜后的光子晶体测试，生成透光测试结果，并基于透光测试结果和对应基础测试结果生成第一异常检测结果；保持光子晶体位置，通过扫描电子显微镜对镀膜后的光子晶体执行数据采集，建立扫描图像；将所述扫描图像输入图像识别网络，生成第二异常检测结果；根据所述第一异常检测结果和所述第二异常检测结果生成缺陷在线检测结果。